- 产品描述
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- 商品名称: 氮化硅气压烧结炉
- 商品编号: 氮化硅气压烧结炉
专业应用用于氮化硅等制品的脱脂和高温加压烧结。适用于PEG、石蜡等粘结剂的脱脂处理；可实现脱脂烧结、真空烧结、分压烧结、加压烧结等工艺。 具有卧式、立式两种结构供客户选用。
技术特点
1、整个工艺一键启动、全自动操作、数据记录备份，随时调阅。
2、采用特殊的炉胆结构和加热器布置，炉温均匀性好。
3、加热系统电弧实时监控系统，防止对整个加热系统及炉体造成严重损伤。
4、采用特殊结构马弗，密封效果好，脱脂完全，对炉内元件无污染。
5、具备柔性抽真空、真空烧结、微正压烧结、1-80KPa分压烧结、负压脱脂、微正压脱脂等功能。
6、多重安全联锁，设备安全性高，为安全生产保驾护航。
7、多区独立控温，炉门硬毡采用特殊的台阶式结构，保证整炉的温度均匀性。
8、特殊的发热体、马弗排布结构，维护简单方便。
9、程序具有断电续热功能，一旦断电，可以不必重新启动程序。
10、模块化组装、快速安装调试。
11、远程控制，实现零距离的故障诊断及修复工作 。
技术参数
型号 有效空间 设计压力 装炉重量 最高温度 极限真空度 真空泄漏率 冷却时间 温度均温性 功率(KW) 控温方式 可气体 占地面积(m) SIP410 Ø410x800 6/10MPa 200KG 2000℃ 0.5Pa 5Pa/h ≤4H 土7°C 60 一区 Ar
N2
H2
CH4
5x6x6 SIP510 Ø510x1300 500KG ≤8H 360 三区 6x7x6 SIP800 Ø800x2000 1T ≤10H 640 四区 7x8x6
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